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微波等離子清洗機(jī)與傳統(tǒng)濕法清洗相比有什么特點(diǎn)?

更新時(shí)間:2022-07-13  |  點(diǎn)擊率:1530
  微波等離子清洗機(jī)作為一種綠色無(wú)污染的高精密干法清洗方式,可以有效去除表面污染物,避免靜電損傷。簡(jiǎn)述了微波等離子清洗機(jī)的原理及特點(diǎn),介紹了設(shè)備的構(gòu)成、清洗工藝和模式,對(duì)微波導(dǎo)入和微波源與負(fù)載的匹配兩個(gè)關(guān)鍵技術(shù)進(jìn)行了研究;通過(guò)工藝驗(yàn)證,微波等離子清洗降低了接觸角度,提高了引線鍵合強(qiáng)度。

 

  等離子體是物質(zhì)存在的一種基本形態(tài)(被稱為物質(zhì)的第四態(tài)),是由原子,電子,分子,離子或自由基組合而成,等離子清洗就是通過(guò)物理、化學(xué)作用對(duì)被清洗物表面進(jìn)行處理,實(shí)現(xiàn)去除分子水平污染物的一種工藝過(guò)程,同時(shí)也可提高其表面活性。

  微波等離子發(fā)生原理:
  微波等離子清洗機(jī)是由工作頻率為2.45GHz的微波激發(fā)工藝氣體放電,在正負(fù)極磁場(chǎng)作用下的諧振腔體內(nèi)產(chǎn)生等離子體,該諧振腔體位于反應(yīng)倉(cāng)體旁邊,磁控管連接微波發(fā)生器,因?yàn)檎麄€(gè)放電過(guò)程不需要正負(fù)電極,所以產(chǎn)生自偏壓極小,從根本上避免了靜電放電損傷。

  清洗特點(diǎn):
  微波等離子清洗機(jī)與傳統(tǒng)濕法清洗相比,不需要使用大量的酸、堿、有機(jī)溶劑等,不會(huì)給環(huán)境帶來(lái)任何污染,有利于環(huán)保和人員安全,同時(shí)該清洗技術(shù)的均勻性、重復(fù)性和可控性非常好,具有三維處理能力,可以進(jìn)行方向選擇。微波等離子清洗機(jī)與低頻或射頻放電產(chǎn)生的等離子體相比,它的特點(diǎn)是沒(méi)有正負(fù)電極,自偏壓很小,不會(huì)產(chǎn)生放電污染,有效防止靜電損傷;等離子密度高,生產(chǎn)效率高;離子運(yùn)動(dòng)沖擊小,不會(huì)產(chǎn)生UV(紫外線)輻射,尤其適用于一些敏感電路的制程清洗。

 

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