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EVG805直接鍵合設備

簡要描述:EVG805直接鍵合設備是一種半自動系統(tǒng),用于剝離臨時鍵合和加工的晶圓堆疊,包括器件晶圓,載體晶圓和中間臨時鍵合膠。該工具支持熱剝離或機械剝離。薄晶圓可以卸載在單個基板載體上,以便在工具之間安全可靠地轉移。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質:代理商
  • 產(chǎn)品資料:
  • 更新時間:2024-11-09
  • 訪  問  量: 7381

詳細介紹

EVG805直接鍵合設備應用:薄晶圓臨時鍵合解鍵合,將已經(jīng)鍵合的材料從載板上剝離。應用于TSV,儲存器,CMOS,功率器件等的加工過程。

一、簡介

EVG805直接鍵合設備是一種半自動系統(tǒng),用于剝離臨時鍵合和加工的晶圓堆疊,包括器件晶圓,載體晶圓和中間臨時鍵合膠。該工具支持熱剝離或機械剝離。薄晶圓可以卸載在單個基板載體上,以便在工具之間安全可靠地轉移。

二、特征

開放的黏合劑平臺

解鍵合選項:

熱滑脫剝離

脫黏剝離

機械玻璃

程序控制系統(tǒng)

實時監(jiān)控和記錄所有相關的過程參數(shù)

薄晶圓處理的功能

各種卡盤設計,可支持zui大300 mm的晶圓/基板和載體

高表面地貌晶圓處理

三、參數(shù)

1.晶圓尺寸:zui大300mm

2.配置:一個解鍵合模塊

3.備選:

紫外光輔解鍵合;

高表面地貌處理能力;

不同尺寸晶圓的橋接能力

 

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